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1、真空室：
①、内腔尺寸：直径×高＝φ500×600mm。
②、制造材料：优质碳钢材料制造。
③、结构形式：立式单开门结构。
④、观察窗口：配一个观察窗，带手动遮板，方便观察蒸发源工作状态。
⑤、内衬护板：随机配壹套不锈钢内衬板，导轨滑动结构，方便取出清洗。
⑥、门锁方式：手动锁紧方式。
2、工件架：配一条转轴的工件架。
3、 3、抽气系统：
①、扩散泵：配壹台KT－300高真空油扩散泵，抽速大、返油率低，配水冷挡板。
②、机械泵：配2X－70旋片泵壹台。
③、维持泵：配2X－4 旋片泵壹台。
④、真空阀门：全部采用气动挡板阀，气缸为专业厂家名牌产品，名牌组合式电磁换向阀组，进口动密封元件。
⑤、管道及减震形式：真空管道采用优质碳钢制造，镀镍处理。管道减震采用不锈钢波纹管。
4、镀膜方式：电阻加热蒸发镀膜方式，配12KVA蒸发变压器，10组蒸发钨丝，钨丝分布合理，镀膜均匀性高。
5、电气控制：①、控制方式：手动、半自动、全自动控制方式均具备，电器元件采用名牌产品。设有过流、过载、过热保护功能。同时设备带有缺水报警保护功能，精抽阀及前置阀均带有关到位的控制行程开关，提高了设备运行的安全性。阀门自锁互锁。
②、停机方式：设备设有自动停机功能，设定一定时间待扩散泵温度降到常温时，能自动关维持泵（另留有空气压缩机水泵等自动关停接口）进行自动关机，免去了人工关机的麻烦及不必要的损失。
6、真空参数：
①、抽气速度：从大气到2×10-2Pa≤8分钟（空载、净室）
②、极限真空：优于5×10-3Pa
注：本设备适合小量生产以及实验室实验使用
ZZ-500不限
